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第一章緒論

在半導體晶圓廠內，其製程就像蓋房子一樣，一層一層往上蓋，. 其製造流程如圖1-1 所示，該 ... 上，製造流程主要有黃光(photo)、薄膜(thin film)、蝕刻(etch)和擴散.

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