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乾蝕刻ptt

標題[問題] 關於ITO的乾式蝕刻法. 時間Tue Jul 10 11:00:24 2012. 板上的大大好最近實驗需要在矽基板蒸鍍上ITO 並且利用黃光定義出圖案在做蝕刻因為濕蝕刻會有等向性的 ...

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