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黃光蝕刻設備
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半導體製程類設備- 瀚柏科技prohanns
CSE S-470主要是用來作半導體黃光製程的光阻塗佈。 ... 漿來進行薄膜的蝕刻,其最大優點是具有非等向性蝕刻,主要適用於半導體製程中氮化鎵材料蝕刻or藍寶石基板蝕刻。
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