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黃光蝕刻擴散薄膜ptt
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第二十三章半導體製造概論
二)蝕刻. 經過黃光定義出我們所需要的電路圖,把不要的部份去除掉,此去除的步驟 ... 積暨離子植入,也就是在Wafer 上覆蓋一層薄薄的薄膜,所以又稱之為「薄膜區」。
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