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黃光蝕刻擴散薄膜
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附表第一批應盤查登錄溫室氣體排放量之排放源
含擴散、薄膜、黃光顯影、蝕刻或彩. 色濾光片等程序;製程中確實使用含. 氟溫室氣體,亦屬本公告之適用對. 象。 各行業. 其他設備. 全廠(場)化石燃料燃燒之直接排放.
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