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黃光蝕刻擴散薄膜順序
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磷化氫氣相沉積易燃性毒性六氟化硫蝕刻惰性六 ... 矽後,依電路設計的要求,製作所需要之光罩,進行反覆的黃光曝光顯影,乾溼蝕刻,擴散及氧化,薄膜 ...
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