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國立中山大學光電工程學系碩士論文石英基板襯底的低損耗Ta2O5

本文中，我們研究單模五氧化二鉭（Ta2O5）/二氧化矽（SiO2）平面光波導的. 特性。通過射頻濺鍍方式形成80nm 厚的Ta2O5，在通過CHF3 電漿蝕刻方式形成.

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