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黃光蝕刻擴散薄膜順序
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「高科技廠房消防防護計畫範例」
二氧化矽後,依電路設計的要求,製作所需要之光罩,進行反覆的黃光曝光顯. 影,乾溼蝕刻,擴散及氧化,薄膜沉積及金屬濺鍍,表面清潔處理,離子植入.
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