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黃光蝕刻擴散薄膜順序
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微電子實驗室暑期讀書會 - 心得報告
由於之前讀書會已經介紹過黃光製程,此部分與之前有對應到,順便幫大家複習了微影與蝕刻。而薄膜沉積看似簡單,但對應不同的成長目的,以及不同材料, ...
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