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黃光蝕刻擴散薄膜順序
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行政院環境保護署
主要包括:擴散區(擴散、離子植入)、黃光區(黃光顯影)、蝕刻區(乾、濕式蝕刻)、薄膜區(化學蒸鍍及薄膜生成)等作業程序。由於此作業程序係一循環式製程,循環之 ...
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