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黃光蝕刻擴散薄膜順序
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發展以職能基準為導向的半導體微影製程課程 ... - 國立高雄大學
擴散 (離子植佈)、黃光(微影)、薄膜、蝕刻,而非專為微影製程所制定,故須邀請微影製程. 產業專家協助從職能基準表中的工作任務(Task, ...
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