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半導體製程簡介科目教學單元活動設計

中包含晶圓的進爐管長薄膜(Thin film)或利用化學氣相沉積(CVD)絕緣體覆層，再. 經由黃光(Photo)製程將已製作好的光罩圖案曝印在晶圓上，再利用蝕刻(Etching)製.

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