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半導體業公告排放強度及附表.pdf - 國家溫室氣體登錄平台

1、製程排放源：指包括擴散、薄膜、黃光顯影或蝕刻等 ... 前述熱值應採低位熱值，並依以下優先順序進行計算：. (1)自廠檢測之低位熱值；.

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