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小檔案︰ 極紫外光（EUV）微影製程 - 自由財經

極紫外光（EUV）微影製程，被半導體產業視為「救世主」，因為目前半導體製程的主流光源是氬氟雷射，波長為193奈米，當電晶體尺度已微縮到幾十奈米時， ...

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