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Lab1 微影製程實驗與檢測 - 國立高雄科技大學

微系統製造與實驗─LAB1 微影製程實驗與檢測. Lab1 微影製程實驗與檢測. 1.1. 實驗目的. 以微影製程將光罩圖形轉移至晶圓，並以光學顯微鏡檢測光阻微影結果.

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