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光電半導體主動元件與被動元件的製程技術 - 台灣儀器科技研究 ...

前述之薄膜係一視同仁地均勻成長在晶片上，. 必須另以光微影法(photo-lithography) 來進行平面. 圖形之定義。微影可以說是整個半導體製程當中最. 舉足輕重的步驟之一。我們 ...

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