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舉離製程 - 高雄大學應用物理學系

舉離製程. 【實驗目的】. 本實驗就是要在基板上覆蓋S1813光阻，並利用黃光微影的 ... 利用這樣的方法我們可以得到微奈米級的金屬線圖樣以供後續製程及相關產業使用。

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