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黃光微影製程
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轉錄-[心得] 半導體黃光製程工作內容分享Vol.1 - Vol. 3 - note
半導體製程主要分六個module, 分別是: 微影(lithography) , 蝕刻(etching) , 薄膜(thin film), 擴散(diffusion),
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