微影製程 的基本步驟. ▫ 光阻塗佈. ▫ 對準和曝光. ▫ 顯影. 基本步驟-- 舊技術. 光阻塗佈. 顯影. ▫ 晶圓清洗. ▫ 脫水烘烤. ▫ 底漆層的旋轉塗佈與光阻. ▫ 軟烘烤.
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