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黃光微影製程技術

光罩繪製是微影製程最基本步驟，透由光刻程序將光罩上的圖案的轉移. 至光阻，才能在基材上製作微結構。 圖案(Layout)設計. CADENCE. L-EDIT. AUTOCAD. 轉檔成GDS格式.

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