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噔噔愣噔愣～縮小術！用光學微影把IC 晶片變小了 - 泛科學

k1：一個係數，與製程有關，縮小半週距的關鍵，是所有半導體工程師致力縮小的目標。 λ：微影製程中使用的光源波長，從一開始的436 奈米，現已降到13.5 奈米。

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