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奈米世代微影技術之原理及應用 - CTIMES

根據2003年版國際半導體科技藍圖的內容，如(圖一)，半導體製程會在2004年正式進展到100nm以下，而在2010年進展到50nm以下，因此目前的設備廠商仍在思考那些設備會在50nm ...

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