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微製程實驗室(112+112A)

(88 m2 黃光區, 183 m2 一般區). • 共12項設施 ... 傳統光罩式濕蝕刻微影術. • 金屬真空鍍膜(只限銅,鋁). • 金屬膜電性量測. • 膜厚檢測.

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