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轉錄-[心得] 半導體黃光製程工作內容分享Vol.1 - Vol. 3 - note

怕白光,所以無塵室內微影區是以黃 光照明.黃光工程師的工作是以光阻曝光產生固定的pattern後,接著利用蝕刻將其 轉印在晶圓上(如oxide, poly, metal, ...

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