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應用化學濾網去除某晶圓廠黃光區潔淨室的氨氣 - Yumpu

另外黃光區光阻液對於NH 3 特別敏感, 造成化學放大效應(Chemical Amplifier Resist),使的晶片線路缺陷, 晶片關鍵尺寸(CD, critical dimension) 線徑寬度不對, ...

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