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黃光區危害 - 藥師家

「黃光區危害」+1。黃光室是進行IC晶片微影成像術的區域，將光阻材料利用旋鍍法（spincoating）披覆在晶圓上，而後再放置於曝光機下進行曝光，以使紫外光源透過光 ...

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