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半導體- 黃光製程- PPT

於是光罩上的圖案完整的傳遞到晶片表面的感光材料，經過顯影後，圖案就會完全轉移到晶片。 反應式: · 環境危害 • 在黃光區中光阻液清洗、濕像液清除、蝕刻 ...

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