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化學實驗室安全工作守則 - 國立清華大學材料科學工程學系

光罩對準曝光機1部; 曝光箱1部; 光阻旋塗機2部; 光阻烘烤箱1部; 光阻烘烤熱板1部; 光學顯微鏡1部; 化學通風櫥含RO逆滲透水系統1座. 以下稱”黃光製程實驗室”為”本實驗 ...

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