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一种共面电容传感器的非导电介质薄膜厚度在线检测装置

本发明公开了一种共面电容传感器的非导电介质薄膜厚度在线检测装置，包括检测电路、数据采集卡、接口转换器、计算机；检测电路包括测量激励电路、参考电容、主放大器、 ...

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