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鹽酸 氣體鋼瓶
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https://www.airitilibrary.com/Publication/alDetailedMesh?docid=U0030-1510201315194335
加熱用於特殊氣體管路附著去除效應-以某半導體廠為例
而在製程廢氣處理系統上,黏滯性氣體經化學反應後產生黏滯性粉末而附著在排氣管 ... 滯性氣體的去除:在供應系統上HBr與Hcl氣瓶櫃的Pigtail加裝加熱系統,在氣體鋼瓶 ...
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