利用鹼性顯影液將光阻(PR, Photo Resist)經曝光後形成的有機酸中和、剝落，留下未反應的光阻圖案。 TMAH (氫氧化四甲基銨) · NaOH (氫氧化鈉) · KOH (氫氧化鉀) ...
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