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高密度電漿化學氣相沉積
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行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告- 電漿輔助原子層 ...
電漿 輔助原子層化學氣相沉積在銅連線結構之多孔性超低. 介電層之製程整合應用 ... 經過煅燒後的奈米孔洞二氧化矽薄膜,利用高密度電漿系統做電漿處理。其所使用的電.
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