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高介電材料
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低溫微波退火對高介電係數介電層之影響及 - CHUR - 中華大學
以目前的材料而言,與矽基板有最佳的界面和相容性的材料非屬二氧化矽,所以. 要與矽基板有好的相容性,高介電係數介電層需具有以下電子、物理和化學特徵[6]:. 電性.
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