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鉻緩衝層厚度在鈦酸鍶鋇薄膜之介電性質及機械應力之研究

高信賴度，即具有良好之依. 時介電崩潰(TDDB)特性等。目前，被研究用於DRAM 的材料大略可分. 為：1.高介電常數材料，如Ta2 O5[2- ...

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