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以陽極氧化及硝酸氧化技術備製金氧半元件中氧化鋁高介電常數 ...

關鍵字: 氧化鋁;陽極氧化;硝酸氧化;金氧半電容器;高介電常數閘極介電層;aluminum oxide;anodization;nitric acid oxidation;MOS capacitor;high-k gate dielectrics.

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