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真空技術精華 - 第 118 頁 - Google 圖書結果

用磁浮軸承的轉子轉軸與幫浦本體因無機械接觸,故無潤滑劑,因此不會產生任何油蒸氣分子進入真空幫浦內部的問題。又其旋轉傳動係利用磁力,故無傳統馬達驅動轉子轉軸進入 ...

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