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12 吋晶圓廠冰水系統節能實務

水主機負載分配最佳效能之提升將各台冰水主機之耗電以部分負載率的 ... 機負載下依靠著冷卻水塔的馬達運轉控制與泵浦(冷卻水泵浦與冰水泵浦).

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