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類神經網路於MIMO 半導體製程控制的應用

倒傳遞類神經網路控制器經由學習製程的調控模式，依據目標值與干擾輸出的誤差計算製程的 ... 為MA（1）（移動平均模式）模式的參數，其值定義在為. -1<θ<1。

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