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面板曝光機
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Canon慶祝日本首台半導體曝光機PPC-1上市50周年 - 電子時報
Canon曝光機的歷史始於對相機鏡頭技術的高度應用。奠基於20世紀60年代中期在相機鏡頭開發所累積的光學技術,Canon研發出用於光罩製造的高解析度鏡頭。
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