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面板厂曝光机雾化防治案例介绍 - 亚翔集成

且就面板厂曝光机，特别是TFT产业来看，其光源虽然只到i-line ，光波长约346nm，光源能量虽然没有半导体产业那么强，却在面板厂的特殊环境里，还是造成透镜或反射 ...

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