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PEM-800 曝光機台操作手冊 - 國立高雄科技大學

(2) 以CDA 將光罩吹乾淨，Mask 的Pattern 面朝上，將Mask 放在Mask. Holder 的Mask 吸著面。 (3) 將Mask 對準2 個定位Pin，做Mask 定位。按下右側操作面板的MASK. SW，讓 ...

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