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FPD 專用大型光罩之技術動向－

為提高大尺寸TFT-LCD 液晶面板的生產 ... 面板生產線的大型雷射光罩圖形描繪機Prexision-10，預計將於2008. 表1 TFT-LCD 面板生產線 ... 因此，設計㆖㈩分依賴曝光機。

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