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國立臺灣師範大學微光機電系統實驗室中華民國九十三年六月

曝光機 上所有的旋鈕皆為精密機構，禁止快速轉動。 ... 曝光控制面板 ... 如圖一所示，開啟曝光機底下之真空泵浦（pump），以使其能固定光罩.

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