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對面板良率至關重要!黃光製程與設備詳解

曝光機 的外形. 曝光的作用. 曝光機的分類. • 按光源分類: DUV ( 波長=248) ; I-line ( 波長=365nm). • 按運作分類: 掃描機(SCANNER); 步進機(STEPPER).

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