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MPAsp-E813系列超高精细FPD曝光机 - 佳能光学设备（上海 ...

面向于急速增长的高精细化面板需求，佳能开发了MPAsp-E813系列曝光设备，主要对应第6代玻璃基板（1500mm×1850mm）的超高精细液晶面板以及OLED面板的量产。

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