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Canon、Nikon為何造不出EUV光刻機？ASML說出原因

當然，Tony Yen亦提及，EUV光刻機的成功還有蔡司、Cymer（已被ASML收購）等企業參與，其中蔡司獨家向ASML出售半導體相關的曝光產品。

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