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氫化非晶矽對薄膜電晶體特性之影響 - 國家圖書館
由實驗結果顯示,氫化非晶矽薄膜在連續波沉積條件下,提高氫氣稀釋比(SiH4/H2)、降低RF射頻功率、以及降低製程反應室壓力。在脈波沉積條件下,增加脈波開啟的時間、 ...
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