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國立臺灣師範大學- 光電科技研究所

其中p 型多晶矽薄膜是利. 用鋁誘發多晶矽的方式製成。因此先利用射頻濺鍍系統在玻璃基板濺. 鍍鋁薄膜與非晶矽薄膜，並改變其退火溫度使鋁誘發 ...

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