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利用PECVD製備超薄本質氫化非晶矽(a-Si:H) 薄膜之優質鈍化 ...

本研究利用電漿輔助化學氣相沉積(Plasma enhanced chemical vapor deposition,PECVD) 製備異質接面太陽能電池表面鈍化超薄氫化非晶矽薄膜，利用PECVD 具有穩定沉積 ...

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