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不受摩爾定律限制的MEMS 如何拓展半導體應用？ - 科技新報

微機電系統是利用半導體製程於晶圓上批量製造與整合，微致動器和傳統的機械致動器，例如內燃機和馬達，無論在外型或驅動原理，皆有著極顯著的差異，目前在 ...

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